真空等离子改性看板
电镀制程 - 真空室压力与射频发生器功率监控
设备在线: 2/2
ERP 同步挂载工单
#ORD-260402-B
Apple Inc. - HDI
BOM 核心耗材 (加热管/热电偶)
95%
状态良好
本班次动态制造成本
¥ 3,450
工艺制造指标 (Physical Specs)
已达标
残胶去除率:
99.9%
孔壁改性:
优
浓度一致:
均一
MES 深度监控控制参数
系统实时推送
腔室压力:
152mTorr
RF功率:
3000W
处理周期:
100%
等离子体起辉成功率
100%
真空腔室充放电正常
气体配比精度
±1sccm
O2/CF4 反应平衡
处理周期合规性
100%
确保去除效率
当前工艺腔压
152
mTorr (稳定运行)
腔室压力 & RF功率实时趋势
气体流量分配
工艺周期日志